【先進(jìn)制造】******018大口徑光學(xué)元件原位三維顯微測(cè)量技術(shù)(哈工大******學(xué)院)
【成果簡(jiǎn)介】
針對(duì)大口徑光學(xué)元件的制造/裝調(diào)原位檢測(cè)需求，研制了大口徑光學(xué)元件原位三維顯微測(cè)量?jī)x，以多軸機(jī)械臂作為運(yùn)動(dòng)執(zhí)行機(jī)構(gòu)，兼顧加工狀態(tài)原位測(cè)量(臥式)和裝調(diào)狀態(tài)原位測(cè)量(立式)。在測(cè)量方法上創(chuàng)新性提出暗場(chǎng)共焦三維測(cè)量新方法，實(shí)現(xiàn)表面及亞表面缺陷微觀幾何結(jié)構(gòu)三維成像;同時(shí)針對(duì)原位顯微測(cè)量存在的環(huán)境微振動(dòng)影響，提出基于加速度傳感器的振動(dòng)監(jiān)測(cè)方案，實(shí)現(xiàn)環(huán)境微振動(dòng)補(bǔ)償和測(cè)量校準(zhǔn)。該技術(shù)可以用于遙感相機(jī)光學(xué)元件的制造原位檢測(cè)和裝調(diào)原位檢測(cè)，為生產(chǎn)制造和運(yùn)行維護(hù)提供檢測(cè)及計(jì)量保障。
【技術(shù)指標(biāo)】
大口徑光學(xué)元件原位三維顯微測(cè)量?jī)x，主要技術(shù)指標(biāo)包括:最大可檢測(cè)元件口徑≥1.2m*1.2m；缺陷檢出靈敏度≤280nm;橫向分辨力優(yōu)于300nm；縱向深度定位分辨力優(yōu)于1μm;準(zhǔn)確率≥85%;最大深度>120μm。
【應(yīng)用前景】
儀器可應(yīng)用于遙感相機(jī)大口徑光學(xué)元件相關(guān)的亞表面缺陷檢測(cè)。
【聯(lián)系人及聯(lián)系方式】
喬老師，0451-******
馬老師，0451-******
